8-23

實驗室氣路是指在高校實驗室中用于供應氣體的系統。它主要用于實驗室儀器設備的運行，包括實驗室通風、燃氣供應和實驗室安全等方面。高校實驗室氣路的組成主要包括氣源裝置、氣體儲存設備、管道輸送系統和控制調節系統等。1.氣源裝置是實驗室氣路的核心部分，主要包括氣瓶、氣體發生器和壓縮機等。氣瓶是存放氣體的容器，常見的有氧氣瓶、氮氣瓶和氫氣瓶等。氣體發生器可以通過化學反應...

8-9

AMH高純氣體全自動切換系統AMH系列高純氣體全自動切換系統，專為提供不間斷供氣的要求而設計。切換系統分別將主供氣瓶組和備用氣瓶組的氣體匯集在一起進行集中供氣，經過減壓、穩壓、通過管道向用氣點供氣，當切換系統主供氣瓶組的壓力耗盡時可自動切換到備用氣瓶組供氣，同時發出聲、光警示訊號，提醒用戶更換氣瓶，達到不間斷供氣的目的。切換系統壓力表和壓力傳感器監視當前工作...

8-2

1.簡單供氣系統簡單供氣系統主要針對4英寸及以下半導體芯片廠、半導體材料的科研機構以及一些單臺的工藝設備等。它們的制程簡單，通常不需要連續性供氣，對氣體供應系統的投資預算低。2.由于氣體流量小，不經常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（50L）。輸送系統多采用半自動氣瓶柜或氣瓶架加簡單的控制面板；配置繼電器控制，自動切換，手動吹掃，手動放空，有害性氣體配備緊急...

7-26

氣體管道工程在施工時的注意事項1、所有不銹鋼管道兩端用塑料蓋密封，外部有塑料套密封，在進入施工現場后，安裝前，方可將塑料套拆封，并除去塑料蓋。2、管道鋪設時，應注意平直，彎管處采用專用彎管器，不得徒手彎曲，切斷管道時，用專用切管器操作，嚴禁用鋸子鋸斷管道。管道切斷后，應用專用工具處理斷口，嚴禁用普通銼刀處理。3、在管道的行進路線中，每隔1米應設置一組管夾，如...

7-19

化驗室管路安裝是確保實驗室正常運行的重要環節。在進行管路安裝時，需要考慮多個因素，包括實驗室布局、管道材料選擇、連接方式、安全性和可維護性等。實驗室布局是化驗室管路安裝的基礎。合理的實驗室布局能夠很大程度地提高工作效率和安全性。在規劃實驗室布局時，應充分考慮實驗室內不同區域的使用需求，并確保管路的走向符合實驗操作的流程。例如，通風系統的排氣管道應與有害氣體產...

7-19

氣體管路閥門知識半導體制造工藝需要使用高純度氣體，而氣體管路中的閥門是高純氣體管路中至關重要的一部分。閥門的作用閥門是用于控制管路中氣體流量的設備。在半導體高純氣體管路中，閥門的作用非常重要。閥門可以控制氣體流量和壓力，確保氣體流動的穩定和可靠性。閥門還可以隔離不同的管路，防止污染和混合。閥門的類型在半導體高純氣體管路中，有幾種常見的閥門類型。其中，常用的閥...

7-12

氣體管道系統夾氣的危害1、由于管道內的空氣泡的存在，使得管道過流面積減少，增加水頭損失。在水泵輸水時，水泵一般將增加11%～13%的能耗。在重力流輸水中，由于空氣泡的存在，將直接影響輸水量，甚至阻斷水流。2、由于氣體在同樣的壓差下流速很快，約為水流的30倍，因此氣體流經水表等測量工具發生偏差。這種偏差最終使得供水系統水量的不均衡。3、具有彈性的氣體存在，是管...